稀薄气体中的自持放电（自激导电）现象。由法拉第第一个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于氖稳压管、氦氖激光器等器件的制造。 

本实验在高频电压与He气流的操作范围下，成功的建立了均匀的大气压介质表面辉光放电（Atmospheric Pressure Surface Barrier Discharge，APSBD），并且产生多脉冲辉光放电（pseudo-glow discharge）。经由改变实验的参数（外加电压的振幅与频率、He气流流速），分别对多脉冲辉光放电的电性与光谱进行量测与分析，进而了解APSBD的物理性质与电浆性质。实验中，成功将外加电压值与平均放电功率关系推导出一条二次曲线Pav=A(Vp-Vo)2，进而求得电浆密度（约为109cm-3）。并且由光谱的诊断，求出APSBD的平均电子激发温度（约为3000~3300K）。这两点可以在不影响操作的前提下，量测APSBD的电性，同时可以掌握操作的情况，对于工业的应用上有很大的助益。